准分子激光器: CL 5000
准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
1、CL 5000系列技术参数：
| 参数项 | CL 5010 | CL 5050 | CL 5100 | CL 5200 |
| 最大重复频率 | 100 Hz | 500 Hz | 1000 Hz | 2000 Hz |
| 稳定模式下脉冲能量 |
ArF：15 mJ KrF：25 mJ |
ArF：10 mJ KrF：20 mJ |
ArF：10 mJ KrF：20 mJ |
ArF：4 mJ KrF：6 mJ |
| 稳定模式下平均功率 |
ArF：1.5 W KrF：2.5 W |
ArF：5 W KrF：10 W |
ArF：10 W KrF：20 W |
ArF：8 W KrF：12 W |
| 工作波长 |
193 nm/Ar 248 nm//KrF |
193 nm/ArF 248 nm/KrF |
193 nm/ArF 248 nm/KrF） |
193 nm/ArF 248 nm/KrF |
| 最大脉冲能量 |
ArF：15 mJ KrF：25 mJ |
ArF：15 mJ KrF：25 mJ |
ArF：15 mJ KrF：25 mJ |
ArF：15 mJ KrF：25 mJ |
| 最大平均功率 |
ArF：14 W KrF：25 W |
ArF：14 W KrF：25 W |
ArF：14 W KrF：25 W |
ArF：14 W KrF：25 W |
| 能量稳定性 | ＜2 % | ＜2 % | ＜2 % | ＜2 % |
| 光束尺寸 | (12±0.5) × (4±0.5) mm | (12±0.5) × (3±0.5) mm | (12±0.5) × (3±0.5) mm | (8±0.5) × (3±0.5) mm |
| 光束发散角 | 3×1 mrad | 3×1 mrad | 3×1 mrad | 2×1 mrad |
| 脉冲宽度 | 13±1 ns | 12±1 ns | 12±1 ns | 8±1 ns |
| 冷却方式 | 风冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
| 供电规格 | 220 V, 50 Hz, ＜2500 VA | 220 V, 50 Hz, ＜2500 VA | 220 V, 50 Hz, ＜2500 VA | 220 V, 50 Hz, ＜2500 VA |
| 外形尺寸 | 890 × 340 × 460 mm | 890 × 340 × 460 mm | 890 × 340 × 460 mm | 890 × 340 × 460 mm |
| 整机重量 | 85 kg | 85 kg | 85 kg | 85 kg |
2、CL 5000系列产品核心特性
• 高光束指向稳定性
• 高光束位置稳定性
• 高重复频率
• 固态高压开关
• 紧凑型结构设计
3、内置集成功能
• 内置带卤素过滤器的无油真空泵
• 内置能量探测器
• 功率闭环稳定功能
• 全电脑控制
4、相关图片：
激光腔，电子系统一体化设计，系统紧凑
CL5000系统机械尺寸图
CL5000准分子激光器光斑模式图，优秀的光学模式
基于CL5000ArF准分子激光器视力屈光矫正系统，该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有多个系统在中国安装
准分子激光器光纤光栅（FBG）刻写原理图。准分子激光器通常采用KrF(248)
5、应用：
FBG刻写，准分子激光加工，准分子激光检测
6、关于OptoSystems公司：
OptoSystems公司雇员超过40人，最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统（LASIK），该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器，YAG激光器等。
7、资料下载：
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