准分子激光器: CL 7000
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
CL7000技术参数:
激光介质 |
ArF |
KrF |
XeCl |
波长 (nm) |
193 |
248 |
308 |
最大脉冲能量 (mJ) |
250 |
400 |
300 |
最大重复频率 (Hz) |
|||
CL 7020 |
20 |
||
CL 7050 |
50 |
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CL 7100 |
100 |
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最大平均功率 (W) |
|||
CL 7020 |
5 |
8 |
6 |
CL 7050 |
10 |
20 |
15 |
CL 7100 |
20 |
35 |
25 |
脉冲能量稳定度(sigma, %) |
< 2 |
||
光斑尺寸 (VхH, mm) |
23 х 8 |
23 х 9 |
23 х 11 |
尺寸 (LхWхH, mm) |
4.5 х 1.5 |
||
脉冲持续时间 (FWHM, ns) |
17 |
20 |
20 |
冷却方式 |
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CL 7020 |
风冷 |
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CL 7050/CL 7100 |
水冷 |
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重量 (kg) |
170 |
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尺寸 (LхWхH, mm) |
1430 х 380 х 760 |
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电源 |
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CL 7020 |
220 V, 50 Hz, < 1500 VA |
选功能和附件:
F2,157nm型号可选
1000Kz型号可选
窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1
CL 7000主要特点特点:
陶瓷放电激光腔设计,长寿命
激光腔,电子系统一体化设计
功率稳定运行模式
预混合供气,使用简单
计算机控制
相关图片:
准分子激光激光沉积镀膜(PLD)系统示意图
准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图
CL7000系统机械尺寸图
应用 :
准分子激光脉冲沉积镀膜
准分子激光光栅光纤(FBG)刻写
准分子激光材料加工,微纳制造,光刻
关于OptoSystems公司:
OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
资料下载:
CL7000
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