准分子激光器:DC 4000
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
DC 4000系列技术参数:
激光介质 |
ArF |
KrF |
波长 (nm) |
193 |
248 |
最大脉冲能量 (mJ) |
20 |
40 |
最大重复频率 (Hz) |
4000 |
|
最大平均功率 (W) |
80 |
160 |
脉冲能量稳定度(sigma, %) |
< 2 |
|
光斑尺寸 (VхH, mm) |
14 х 2.5 |
|
光束发散角(FWHM, mrad, VхH) |
3.5 х 1 |
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脉冲持续时间 (FWHM, ns) |
17 – 20 |
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冷却方式 |
水冷 |
|
重量 (kg) |
360 |
|
尺寸 (LхWхH, mm) |
1890 x 810 x 1840 |
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电源 |
220/380 V, 50 Hz, < 7000 VA |
DC 4000主要特点:
非常高的重复频率高达6千赫
高平均功率达160w
金属陶瓷设计
使用寿命长
能量稳定性好特性
HV固态开关
功率稳定
计算机控制
相关图片:
材料加工
激光剥离
关于OptoSystems公司:
OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
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