微波等离子体化学气相沉积系统：ARDIS 300

微波等离子体化学气相沉积系统：ARDIS 300适合于多晶，单晶和纳米晶金刚石薄膜制备，以及纳米管，纳米线制备，镀膜，研究和生产。操作的基本原理是由微波放电形成的等离子体沉积合成金刚石。

ARDIS 300技术参数：

ARDIS 300主要特点：

6 千瓦，2.45 GHz

可移动载物台 50 mm

小泄漏 < 10-9 torr·l/s

高真空 < 10-7 torr

纯度非常高

单个集成模块，方便进行维修和维护

ARDIS 300制备金刚石过程：

1） 将氢气和碳氢化合物的混合物加入到腔室中。通常使用百分之几的甲烷。

2） 气体被强大的微波辐射电离，产生等离子体。

3） 等离子体产物，特别是原子氢和烃基，与基底表面相互作用。

4） 根据基底的选择和生长模式，可以生长各种各样的金刚石材料。典型工艺使用1000℃以上的温度和金刚石基底外延生长单晶金刚石。多晶金刚石和金刚石镀膜通常在700℃以上的硅基底上生长。

ARDIS 300利用耐热和化学稳定的材料，如钼，以及对参数和等离子体的精确控制，以实现数百小时的稳定和可重复的生长条件。  

ARDIS 300应用：

电子学：半导体、微电子器件热沉，声学电子器件，MEMS，传感器，MW场效益晶体管

光学：高功率红外窗口器件，腐蚀性环境光学窗口器件，拉曼激光器

MW器件：超高功率振动陀螺和调速管窗片，非吸收辐射元件

医学、生态学：生物传感器，生物相容性涂层，用于水清洁电解的耐腐蚀电极（掺杂B和N的金刚石）

工具：钻石和宝石镀膜

相关图片：

CVD工艺示意图

金刚石薄膜的微观结构

ARDIS 300应用

关于OptoSystems公司：

OptoSystems雇员超过40人，最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统（LASIK），该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器，YAG激光器等。

资料下载：

ARDIS 300