极紫外EUV光源-13.5nm

      13.5nm EUV光源产品-TEUS系列，具有高亮度和低碎片。
      自从业界选择走EUV之路以来，俄罗斯TRDC一直在研究这项技术。开发出了一种基于激光等离子体（LPP）的EUV源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它还具有可刷新的燃料，不会中断供应，也无需更换燃料盒，因此为整个行业带来了极高的运行效率。
      俄罗斯TRDC为LPP源所开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。此外，对于掩模检测应用，开发了一种高频锡旋转靶，该技术已在全球范围内获得专利。
      得益于在该领域积累的经验和专业知识，所采用的用于生产EUV的技术相较于其他竞争对手具有诸多优势。ISTEQ的XWS光源产品经过专门开发，可用于各种应用，包括光谱学、高分辨率显微镜、薄膜测量、表面计量学等。这些光源基于前沿技术，并拥有全球范围内的专利保护。

主要技术参数：

主要优势：
高亮度（意味着高吞吐量）和出色的稳定性
绝对最小碎片
极高的运行时间
高工作周期和交钥匙式操作
 

相关图片：

运用：
掩膜与表面检测
图案掩模检查（PMI）
面积型掩膜检测（AIMS）
掩膜毛坯检测（MBI）
EUV扫描仪中的EUV光学链检测
材料科学
晶圆检测

关于TRDC公司

       TRDC是Troitsk研发中心的简称。
       公司成立于俄罗斯新莫斯科Troitsk，为半导体行业、生物分析和研究实验室设计和制造设备。TRDC从概念和设计到工程、制造和维护，始终将创新的高科技项目贯穿整个生命周期。
       TRDC工程师都是3D建模和制造、光学电路、电子、固件和终端用户交互界面等各领域的专家。并与来自领先研究中心的科学家团队合作，构建完善的工程解决方案，将最雄心勃勃的想法变为现实。