准分子激光器:CL5000

 

最大重复频率 :
         100-2000赫兹 

 

波长:
         193,248纳米


应用:
         1.布拉格光栅
         2.材料加工
         3.无掩模光刻
         4.激光视力矫正

 

功能:
         1.远光灯指向稳定性
         2.远光灯位置稳定性
         3.高重复频率
         4.高压固态开关
         5.紧凑型设计
         6.内置无油真空泵,带卤素过滤器
         7.内置能量探测器
         8.电源稳定
         9.计算机控制

 

规格说明:
         1.波长,nm
         2.193,248
         3.最大重复频率,Hz
         100,500,1000,2000

 

 

 

技术参数:

 

  CL5000-193-100 CL5000-248-100 CL5000-193-500 CL5000-248-500 CL5000-193-1000 CL5000-248-1000 CL5000-193-2000 CL5000-248-2000
波长 193nm 248nm 193nm 248nm 193nm 248nm 193nm 248nm
最大重复频率     100Hz 500Hz 1000Hz 2000Hz
稳定模式下的脉冲能量 15mJ 25mJ 10mJ 20mJ 10mJ 20mJ 4mJ

6mJ

稳定模式下的平均功率 1.5W 2.5W 5W 10W 20W 8W 12W
能量稳定性 < 2%
光束尺寸 (12±0.5)x(4±0.5)mm (12±0.5) x (3±0.5)mm

(8±0.5)x(3±0.5)mm

发散角 3x1mrad 2x1mrad
脉冲持续时间 13±1ns 12±1ns 8±1ns
冷却
方式
空气 风冷 水冷
电源 220 V,50 Hz,< 2500 VA
尺寸 890 x 340 x 460mm
重量     85kg

 

OptoSystems公司介绍:

 

           OptoSystems公司雇员超过140人。产品有准分子激光器,CO2激光器等。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

 

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CL5000

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