高重频高功率准分子激光器:DC4000系列

 

 

重复频率:4000Hz, (6000Hz可选)


可选波长:193 nm, 248 nm


脉冲能量:20 mJ/193nm, 40mJ/248nm


功率: 80W/193nm, 160W/248nm


应用:
         1.无掩膜检测, 
         2.深紫外材料激光加工

 

特点:
        1.高达4000Hz和160W
        2.金属陶瓷腔设计
        3.固态开关技术
        4.长寿命,能量稳定运行模式

 

 

 

 

技术参数:

 

 

  DC4000-193 DC4000-248
波长 193nm 248nm
最大重复频率 4000Hz
稳定模式下的脉冲能量 15mJ 30mJ
稳定模式下的平均功率 60W 120W
能量稳定性 < 2%
光束尺寸 14 х 2.5mm
发散角 3.5 х 1mrad
脉冲持续时间 7–9ns
冷却方式 water
电源 220/380 V, 50 Hz, < 20000 VA
尺寸 1890 x 810 x 1840mm
重量 960kg

 

OptoSystems公司介绍:
           OptoSystems公司雇员超过140人。产品有准分子激光器,CO2激光器等。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

 

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DC4000

 

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