准分子激光器:DC4000
最大重复频率:
4000Hz
波长:
193,248nm
应用:
1.无掩模光刻
2.材料加工
规格说明:
波长，nm
193，248
技术参数:
| DC4000-193 | DC4000-248 | |
| 波长 | 193nm | 248nm |
| 最大重复频率 | 4000Hz | |
| 稳定模式下的脉冲能量 | 15mJ | 30mJ |
| 稳定模式下的平均功率 | 60W | 120W |
| 能量稳定性 | < 2% | |
| 光束尺寸 | 14 х 2.5mm | |
| 发散角 | 3.5 х 1mrad | |
| 脉冲持续时间 | 7–9ns | |
| 冷却方式 | water | |
| 电源 | 220/380 V, 50 Hz, < 20000 VA | |
| 尺寸 | 1890 x 810 x 1840mm | |
| 重量 | 960kg | |
OptoSystems公司介绍:
OptoSystems公司雇员超过140人。产品有准分子激光器，CO2激光器等。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统（LASIK），该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有数台已经在中国安装。准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
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