高功率大能量准分子激光器:7X300系列

 

重复频率:300Hz


可选波长:248nm, 308 nm


脉冲能量:1000mJ 


功率:300W


脉宽:25-35ns


应用:
        1.准分子激光淬火(ELA)
        2.脉冲沉积镀膜PLD
        3.半导体材料加工

 

特点:
        1.单频,线宽3pm
        2.MOPA结构
        3.波长可调谐

 

 

技术参数:

 

  7X300-248 7X300-308
波长 248nm 308nm
最大重复频率 300Hz
最大脉冲能量 1000mJ
最大平均功率 300W
能量稳定性 < 1.5%
光束尺寸 35 x 15 (± 2) mm 37 x 15 (± 2)mm
发散角 ≤ 4.5 x 1.5mrad
脉冲持续时间 25–35ns
冷却方式 water
电源 220/380 V, 50 Hz, < 10000 VA
尺寸 1750 x 790 x 1820mm
重量 950kg

 

相关图片:

 

 

OptoSystems公司介绍:
           OptoSystems公司雇员超过140人。产品有准分子激光器,CO2激光器等。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

 

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7X300

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