准分子激光器:OLS100K

 

波长: 
        248.4nm


最大重复频率: 
          0–1000Hz 


光谱线宽: 
          < 3pm 


光谱线宽: 
          < 6pm 


能量稳定性: 
          < 3% 


光束尺寸,高度: 
         11–13mm 


光束尺寸,宽度: 
         3.5–4.5mm


偏振: 
         > 95%


预热时间: 
          < 10min


应用: 
         无掩模光刻

 

 

技术参数: 

 

波长 248.4nm
最大重复频率 0–1000Hz
最大脉冲能量 5mJ
能量稳定性 < 3%
发散角(FWHM,V × H) 3.5 x 1.5mrad
脉冲持续时间 7-12ns
光谱线宽 < 3pm
光谱线宽-在10%(最大值)时 < 6pm
能量稳定性-1000个脉冲的σ值 < 3%
光束尺寸,高度
-半高全宽,距输出孔径0.5米处
H×W    12 ± 1mm
光束尺寸,宽度
-半高全宽,距输出孔径0.5米处
H×W    4 ± 0.5mm
偏振 > 95%
预热时间 < 10min
尺寸 1025 × 450 × 610mm
重量 132kg

 

 

OptoSystems公司介绍:
           OptoSystems公司雇员超过140人。产品有准分子激光器,CO2激光器等。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

 

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OLS100K

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