准分子激光器:OLS100K
波长:
248.4nm
最大重复频率:
0–1000Hz
光谱线宽:
< 3pm
光谱线宽:
< 6pm
能量稳定性:
< 3%
光束尺寸,高度:
11–13mm
光束尺寸,宽度:
3.5–4.5mm
偏振:
> 95%
预热时间:
< 10min
应用:
无掩模光刻





技术参数:
| 波长 | 248.4nm |
| 最大重复频率 | 0–1000Hz |
| 最大脉冲能量 | 5mJ |
| 能量稳定性 | < 3% |
| 发散角(FWHM,V × H) | 3.5 x 1.5mrad |
| 脉冲持续时间 | 7-12ns |
| 光谱线宽 | < 3pm |
| 光谱线宽-在10%(最大值)时 | < 6pm |
| 能量稳定性-1000个脉冲的σ值 | < 3% |
| 光束尺寸,高度 -半高全宽,距输出孔径0.5米处 |
H×W 12 ± 1mm |
| 光束尺寸,宽度 -半高全宽,距输出孔径0.5米处 |
H×W 4 ± 0.5mm |
| 偏振 | > 95% |
| 预热时间 | < 10min |
| 尺寸 | 1025 × 450 × 610mm |
| 重量 | 132kg |
OptoSystems公司介绍:
OptoSystems公司雇员超过140人。产品有准分子激光器,CO2激光器等。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
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