准分子激光器:OLS5000
带宽:
≤ 0.5pm
最大重复频率:
2000Hz
波长:
193.3, 248.3nm
平均功率:
10–20W
应用:
无掩模光刻
技术参数:
| OLS-5000-193 | OLS-5000-248 | |
| 波长 | 193.3nm | 248.3nm |
| 最大重复频率 | 2000Hz | |
| 稳定模式下的脉冲能量 | 5mJ | 10mJ |
| 能量稳定性 | < ±10% | |
| 脉冲持续时间 | > 15ns | |
| 带宽 | ≤ 0.5pm | |
| 平均功率 | 10W | 20W |
| 波长调谐范围 | 193.33–193.40nm | 248.2–248.5nm |
| E95%带宽 | ≤ 1.4pm | |
| 脉冲能量调节范围 | 3.5–5.5mJ | 7.5–12.5mJ |
| 剂量稳定性 | < 0.4% | |
| 水平光束尺寸 | 2.8 ± 0.3mm | |
| 垂直光束尺寸 | 15.5 ± 0.8mm | |
| 水平光束轮廓对称性 | ≤ 40% | |
| 垂直光束轮廓对称性 | ≤ 40% | |
| 水平发散角 | 1.3 ± 0.5mrad | |
| 垂直发散 | 2.2 ± 0.8mrad | |
| 极化（水平） | > 98% | |
| 尺寸 | 1740 × 780 × 1840mm | |
OptoSystems公司介绍:
OptoSystems公司雇员超过140人。产品有准分子激光器，CO2激光器等。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统（LASIK），该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有数台已经在中国安装。准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
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