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准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
CL 5000系列技术参数:
激光介质
ArF
KrF
XeCl
波长 (nm)
193
248
308
最大脉冲能量 (mJ)
20
40
25
最大重复频频率(Hz)
CL 5100
100
最大平均功率 (W)
CL 5100
2
4
2.5
脉冲能量稳定度(sigma, %)
< 2
光斑尺寸 (VхH, mm)
12 х 3.5
12 х 4
光束发散角(FWHM, mrad, VхH)
2 х 1
脉冲持续时间 (FWHM, ns)
8 – 12
冷却方式
CL 5100
风冷
CL 5200/5300
水冷
重量 (kg)
80
尺寸 (LхWхH, mm)
780 х 330 х 583
电源
220 V, 50 Hz, < 1000 VA
CL 5200
CL 5300
200
300
CL 5200
CL 5300
4
5
8
10
5
7
可选功能和附件:
1000Kz型号可选
窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1
F2,157nm型号可选
CL 5000系列主要特点:
陶瓷放电激光腔设计,长寿命
激光腔,电子系统一体化设计
功率稳定运行模式
预混合供气,使用简单
计算机控制
相关图片:
激光腔,电子系统一体化设计,系统紧凑
CL5000系统机械尺寸图
CL5000准分子激光器光斑模式图,优秀的光学模式
基于CL5000ArF准分子激光器视力屈光矫正系统,该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有多个系统在中国安装
准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图。准分子激光器通常采用KrF(248)
应用:
准分子视力屈光矫正(LASIK)
准分子激光光栅光纤(FBG)刻写
准分子激光材料加工,微纳制造,光刻
关于OptoSystems公司:
OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
资料下载:
CL5000