准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
CLS 5000技术参数:
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激光介质 |
ArF |
KrF |
XeCl |
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波长 (nm) |
193 |
248 |
308 |
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最大脉冲能量 (mJ) |
15 |
25 |
12 |
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最大重复频率 (Hz) |
1100 |
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最大平均功率 (W) |
14 |
25 |
12 |
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脉冲能量稳定度(sigma, %) |
< 2 |
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光斑尺寸 (VхH, mm) |
12 х 3.5 |
12 х 4 |
12 х 4 |
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光束发散角(FWHM, mrad, VхH) |
2 х 1 |
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脉冲持续时间 (FWHM, ns) |
10 – 12 |
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冷却方式 |
水冷 |
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重量 (kg) |
85 |
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尺寸 (LхWхH, mm) |
890 х 340 х 460 |
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电源 |
220 V, 50-60 Hz, < 1000 VA |
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可选功能和附件：
可能配置1000和2000赫兹
CLS 5000主要特点：
非常高的光束指向稳定性
高重复频率
能量稳定性好
设计紧凑
内置能量控制
带磁转换发生器
应用：
布拉格光栅
无掩膜光刻
准分子材料加工
激光视力矫正
关于OptoSystems公司：
OptoSystems公司雇员超过40人，最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统（LASIK），该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器，YAG激光器等。