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脉动科技12月刊-Smart Print 智能2D无掩模光刻快速成形系统
New probes join the Indigo family
Indigo 家族系列增添了新的智能探头
新品推荐丨 Smart Print 智能2D无掩模光刻快速成形系统
      一、Smart Print关键特点:
          --打印分辨率低至2µm
          --通过更换物镜,可以调节打印大小尺寸和分辨率
          --可以兼容CAD格式文件和bitmap图像
          --可以通用g-line感光胶
          --适合于大多数基底材料,硅,玻璃,金属,塑料
          --适合于最大4‘’英寸的衬底盘片
          --带CCD视觉系统以方便各个步骤调试

       二、Smart Print系统优点:
          --无需实体掩模版因此节省大量的制造掩膜时间和费用
          --桌面型系统,占地小
          --特别适合微电子器件,2D材料,微流控,光电子器件,光学和任何2D微纳制造应用

      三、Smart Print系统组成
光源曝光435nm, 系统调试525nm
最小打印特征尺寸2-23µm 可调
调节分辨率最小到1µm/cm3
最大曝光区域75x75mm2
衬底尺寸最大4‘’英寸基片
系统大小尺寸 36cm x 36cm x 60cm (长x宽x高)
系统集成计算机Win 10系统,24’’Full HD
SFT打印软件功能系统机器控制,步或重复运动,自动剂量测试,缝合,调试
SFT控制器转化标准格式(gdsii,dxf,cif,oas)到bitmap图像,包括CAD软件

      四、Smart Print系统附件和选件
        --多种样本夹具(玻璃slide, 4’’基片等)
        --手动或者电动的Z轴位移台
        --手动360度转台
        --物镜组合

     五、不同物镜的打印面积和分辨率关系
物镜1X2.5X5X10X
打印面积(mm)13.6X7.75.4X3.02.7X1.51.35X0.75
最小分辨率(µm)23842

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