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准分子激光器:CLS 5000

准分子激光器:CLS 5000


      准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。


CLS 5000技术参数:

激光介质

ArF

KrF

XeCl

波长 (nm)

193

248

308

最大脉冲能量 (mJ)

15

25

12

最大重复频率 (Hz)

1100

最大平均功率 (W)

14

25

  12

脉冲能量稳定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

12 х 3.5

12 х 4

12 х 4

光束发散角(FWHM, mrad, VхH)

2 х 1

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

10 – 12

冷却方式

水冷

重量 (kg)

85

尺寸 (LхWхH, mm)

890 х 340 х 460

电源

220 V, 50-60 Hz,  < 1000 VA


可选功能和附件:

可能配置1000和2000赫兹

CLS 5000主要特点:

非常高的光束指向稳定性

高重复频率

能量稳定性好

设计紧凑

内置能量控制

带磁转换发生器

应用:

布拉格光栅

无掩膜光刻

准分子材料加工

激光视力矫正


关于OptoSystems公司:

        OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。

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