RX IR/Green/UV系列高功率皮秒激光器
RX系列激光器拥有专利脉冲选择功能,在全球范围内售出了1000多皮秒激光器,其全新的革命性封装与其前身RGH系列相比,具有更小的外形尺寸和更高的性能。RX现在在最简单、最紧凑的AIO(一体式)平台上提供10W到100W的红外、5W到70W的绿光和3W到45W的紫外线输出功率,从单次发射到2MHz(可选到8MHz)。
专有技术使RX系列激光器提供的脉冲能量是同类竞争对手系统的两倍。如此高的脉冲能量允许通过空间缩放优化工艺效率,因为光束可以被多次分割以同时馈送多个工作站,从而产生最低的拥有成本(COO)。
用户友好的控制界面允许总脉冲控制和突发模式操作,其中用户可选择的高达10 ps的脉冲数以及可调节的14 ns增量间隔和可编程的振幅可在一个包络中释放,从而使许多材料的烧蚀率增加。通过将重复频率从单次激发调整为8MHz,用户可以随时通过PEC(功率或脉冲能量控制)功能改变工作PRF和工作功率或脉冲能量,以最大限度地提高工艺灵活性。
Photonics Industries 的皮秒激光器已证明其稳健性适用于从金属雕刻/打标、LED 切割、薄膜去除、小特征结构、玻璃、蓝宝石和陶瓷切割、钻孔等到 3D 激光雷达的最苛刻的工业制造环境 。
RX系列技术参数:
型号 | RX 1064-60 | RX 1064-80 | RX 1064-100 |
输出参数 | |||
波长(nm) | 1064 | ||
平均功率 (W) | 60 W @ 2 MHz | 80 W @ 2 MHz | 100 W @ 2 MHz |
最大脉冲能量 (μJ)a | 400 @ 100 kHz | ~600b | ~1000b |
脉冲宽度 (ps) | < 10 | ||
重复频率b | Single shot to 2 MHz (Option to 8 MHz) | ||
脉冲间稳定性 | ~1% rms at 1 MHz | ||
长期稳定d | ≤ 1% rms | ||
光束特征 | |||
出口光束直径 | ~2 mm | ||
空间模式 (M2) | TEMoo M2<1.2 | ||
光束指向稳定性 | < 20 μrad | ||
光束椭圆度 | ≥ 90% | ||
光束发散度 | < 2 mrad | ||
光束瞄准精度 | ≤ 1 mm 横向(到指定的出口位置);≤ 6 mrad 角度(到指定的出口方向) | ||
操作参数 | |||
接口 | 以太网 / RS 232 / GUI / 外部 TTL 触发 | ||
预热时间 | < 15 min | ||
电源 | 100 to 240 V AC; or 32 V DC, 15 A | ||
功耗 | < 600 W (Excluding Chiller) | ||
环境温度 | 15°C 至 30°C(59°F 至 86°F)工作范围,最大相对湿度 90%,无冷凝 | ||
外观参数 | |||
尺寸 | 25 in x 10 in x 3.75 in (WxLxH) | ||
重量 | ~70 lbs | ||
振动 | Up to 3g | ||
冷却系统 | 闭环冷水机 |
a) 高 PRF 选项将改变最小 PRF 和最大脉冲能量
b) 在突发模式下
c) 通过使用 PSO 或 POD 实现更低的重复率,低至单发
d) 8 小时± 3
型号 | RX 532-40 | RX 532-50 | RX 532-70 | |
输出参数 | ||||
波长(nm) | 532 | |||
平均功率 (W) | -L | 35 W @ 200 kHz | 50 W @ 200 kHz | 70 W @ 400 kHz |
-M | 35 W @ 200 kHz | 50 W @ 400 kHz | 70 W @ 600 kHz | |
-H | 35 W @ 1MHz | 50 W @ 1 MHz | 70 W @ 1 MHz | |
脉冲宽度 (ps) | ~7 | |||
重复频率a | Single shot to 2 MHz (Option to 8 MHz) | |||
脉冲间稳定性 | < 2% rms at 1 MHz | |||
长期稳定性b | ≤ 1% rms | |||
光束特征 | ||||
出口光束直径 | ~1.5 mm | |||
空间模式 (M2) | TEMoo M2≤1.2 | |||
光束指向稳定性 | < 20 μrad | |||
光束椭圆度 | ≥ 90% | |||
光束发散度 | ≤ 1 mrad | |||
光束瞄准精度 | ≤ 1 mm 横向(到指定的出口位置);≤ 5 mrad 角度(到指定的出口方向) | |||
操作参数 | ||||
接口 | 以太网 / RS 232 / GUI / 外部 TTL 触发 | |||
预热时间 | < 15 min | |||
电源 | 100 to 240 V AC; or 32 V DC, 15 A | |||
功耗 | < 600 W (Excluding Chiller) | |||
环境温度 | 15°C 至 30°C(59°F 至 86°F)工作范围,最大相对湿度 90%,无冷凝 | |||
外观特征 | ||||
尺寸 | 25 in x 10 in x 3.75 in (WxLxH) | |||
重量 | ~70 lbs | |||
振动 | Up to 3g | |||
冷却系统 | 闭环冷却 |
a) 通过使用 PSO 或 POD 实现更低的重复率,低至单发
b) 8 小时± 3°C
型号 | RX 355-20 | RX 355-28 | RX 355-45 | |
输出参数 | ||||
波长(nm) | 355 | |||
平均功率 (W) | -L | 20 W @ 200 kHz | 28 W @ 200 kHz | 45 W @ 400 kHz |
-M | 20 W @ 400 kHz | 28 W @ 400 kHz | 45 W @ 600 kHz | |
-H | 20 W @ 1 MHz | 28 W @ 1 MHz | 45 W @ 1 MHz | |
脉冲宽度 (ps)a | ~7 | |||
重复频率b | Single shot to 2 MHz (Option to 8 MHz) | |||
脉冲间稳定性 | < 2% rms | |||
长期稳定性c | ≤ 1% rms | |||
光束特征 | ||||
出口处的光束直径d | ~1.5 mm | |||
空间模式 (M2) | TEMoo M2≤1.2 | |||
光束指向稳定性 | < 25 μrad | |||
光束椭圆度 | ≥ 90% | |||
光束发散度 | ≤ 1 mrad | |||
光束瞄准精度 | ≤ 1 mm 横向(到指定的出口位置);≤ 5 mrad 角度(到指定的出口方向) | |||
操作参数 | ||||
接口 | Ethernet / RS 232 / GUI / External TTL Triggering | |||
预热时间 | < 15 min | |||
电源 | 100 to 240 V AC; or 32 V DC, 15 A | |||
功耗 | < 600 W (Excluding Chiller) | |||
环境温度 | 15°C 至 30°C(59°F 至 86°F)工作范围,最大相对湿度 90%,无冷凝 | |||
外观参数 | ||||
尺寸 | 25 in x 10 in x 3.75 in (WxLxH) | |||
重量 | ~70 lbs | |||
振动 | Up to 3g | |||
冷却系统 | 冷却闭环 |
a) 源自 IR 和 Green
b) 通过使用 PSO 或 POD 实现更低的重复率,低至单发
c) 8 小时± 3°C
d) 可根据要求提供扩大光束直径 (~6 mm)
RX系列主要特点:
高脉冲能量皮秒激光器,IR 约 1mJ,绿光超过 400μJ,UV 约 200μJ。
高功率激光(IR 高达 100 W),短脉冲(< 10ps IR,~7ps 绿色和 UV)
波长范围广:1064 nm、532 nm、355 nm。 266 nm 可根据要求提供。
最紧凑、坚固的一体式 ps 激光器
最高效率 ps 激光器,典型功耗 < 600 W
单次重复率高达 8MHz
优秀的 TEM00 光束, M2 ≤ 1.2
出色的光束指向稳定性 < 20 μrad
PEC(功率或脉冲能量控制)
PSO(位置同步输出)支持对任意 PRF 进行外部触发,同时保持恒定、稳定的低抖动脉冲能量。
突发模式,可单独控制最多 10 个脉冲,间隔为 14 ns。
POD(按需脉冲),其中间隔等于 PRF 的脉冲突发可以在内部、外部或连续触发,同时保持恒定的脉冲能量。
相关图片:
系统性能和特点
RX 1064-60 / -80 / -100, 532-40 / -50 / -70, 355-20 / -28 / -45尺寸图
RX系列的应用:
平板显示器用显示玻璃和功能箔的切割/划线
玻璃和蓝宝石切割和钻孔
半导体划片
PCB加工
太阳能电池划线和钻孔
LED划线、切割和图案制作
金属和陶瓷切割、钻孔和标记
医疗器械切割、钻孔和标记
玻璃钢和碳纤维切割
喷墨喷嘴钻孔
印刷和压花工具
纳米纺织
关于美国Photonics Industrial公司:
美国Photonics Industrial公司位于美国纽约州,是著名的DPL激光器和皮秒激光器制造商。PI公司作为行业鼻祖的两大技术--LD端泵浦技术,腔内倍频技术―--在行业内遥遥领先!其中PI公司的DM系列DPL激光器成为鈦宝石飞秒放大器泵浦源不二的选择。PI公司还有KHz脉冲可调谐鈦宝石激光器 ,KHz 光参量振荡器OPO,KHz PIV激光器。PI公司也是皮秒激光器的行业领导者。PI公司在苏州设有中国分公司。PI中国分公司负责工业激光市场。
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