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准分子激光器:CL 7500

准分子激光器:CL 7500


CL 7500系列技术参数:

激光介质

ArF

KrF

波长 (nm)

193

248

最大脉冲能量 (mJ)

100

250

最大重复率频率(Hz)

CL7520

20

CL7550

50

大平均功率 (W)

CL7520

2

5

CL7550

5

12.5

冲能量稳定性(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

20 х 6

光束发散角(FWHM, mrad, VхH)

< 0.2 х 0.2

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

20

线宽(pm)

< 3

空间相干性(mm)

> 5

时间相干性(mm)

> 10

冷却方式

水冷

重量(kg)

没有光学表

450

尺寸 (LхWхH, mm)

2000 х 800 х 750

电源

220/380 V, 50 Hz,  < 7000 VA


CL 7500
主要特点:

MOPA激光系统(主振荡器功率放大器)

由两个激光器CL7020或CL7050基于单光平台组成

相关图片:


应用:

布拉格光栅

激光诱导荧光技术


关于OptoSystems公司:

         OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。


资料下载:

CL 7500

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