准分子激光器:DC 4000
准分子激光器:DC 4000
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
DC 4000系列技术参数:
激光介质 | ArF | KrF |
波长 (nm) | 193 | 248 |
最大脉冲能量 (mJ) | 20 | 40 |
最大重复频率 (Hz) | 4000 | |
最大平均功率 (W) | 80 | 160 |
脉冲能量稳定度(sigma, %) | < 2 | |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 14 х 2.5 | |
光束发散角(FWHM, mrad, VхH) | 3.5 х 1 | |
脉冲持续时间 (FWHM, ns) | 17 – 20 | |
冷却方式 | 水冷 | |
重量 (kg) | 360 | |
尺寸 (LхWхH, mm) | 1890 x 810 x 1840 | |
电源 | 220/380 V, 50 Hz, < 7000 VA |
DC 4000主要特点:
非常高的重复频率高达6千赫
高平均功率达160w
金属陶瓷设计
使用寿命长
能量稳定性好特性
HV固态开关
功率稳定
计算机控制
相关图片:
材料加工
激光剥离
关于OptoSystems公司:
OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
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