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准分子激光器: CL7000

准分子激光器: CL7000


      准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。

CL7000系列技术参数:

型号ArFKrFXeCl
波长193 nm248 nm308 nm
管材料陶瓷
预电离火花
标准脉冲能量250 mJ400 mJ300 mJ
平均功率
CL 7020
CL7050
CL 7100

5 W
10 W
20 W

8 W
20 W
35 W

6 W
15 W
25 W
最大重复频率
CL 7020
CL 7050
CL 7100

20 Hz
50 Hz
100 Hz
脉宽17 ns20 ns20 ns
脉冲稳定度sigma < 2%
光斑大小6 x 20 mm6 x 21 mm7 x 22 mm
光束发散角1.5 x 4.5 mrad
时间抖动< 2 ns
尺寸, (重量)1350L x 375W x 710H мм (170 kg)
冷却
CL 7020
CL 7050
CL 7100

风冷
水冷(水流< 1L/min)
水冷(水流< 3L/min)
功率
CL 7020
CL 7050
CL 7100

220V / 50Hz, 10А, 不超过1500 VA
220V / 50Hz, 10А, 不超过 1800 VA
380/220V, 50Hz, 10А, 不超过 3500 VA
气体1 premix cylinder
控制接口RS 232, DOS/Windows

可选功能:

      1 、1000Kz型号可选
      2、窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1
      3、 F2,157nm型号可选

特点:

      1、陶瓷放电激光腔设计,长寿命
      2、激光腔,电子系统一体化设计
      3、功率稳定运行模式
      4、预混合供气,使用简单
      5、计算机控制

应用 :

      1、准分子激光脉冲沉积镀膜
      2、准分子激光光栅光纤(FBG)刻写
      3、准分子激光材料加工,微纳制造,光刻



准分子激光激光沉积镀膜(PLD)系统示意图



准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图

   


CL7000系统机械尺寸图



关于俄罗斯OptoSystems公司:

     俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。

资料下载:

CL7000

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