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准分子激光器:CL 7000

准分子激光器: CL 7000


      准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。


CL7000技术参数:


激光介质

ArF

KrF

XeCl

波长 (nm)

193

248

308

最大脉冲能量 (mJ)

250

400

300

最大重复频率 (Hz)

CL 7020

20

CL 7050

50

CL 7100

100

最大平均功率 (W)

CL 7020

5

8

6

CL 7050

10

20

15

CL 7100

20

35

25

脉冲能量稳定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

23 х 8

23 х 9

23 х 11

尺寸 (LхWхH, mm)

4.5 х 1.5

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

17

20

20

冷却方式

CL 7020

风冷

CL 7050/CL 7100

水冷

重量 (kg)

170

尺寸 (LхWхH, mm)

1430 х 380 х 760

电源

CL 7020
CL 7050/CL 7100

220 V, 50 Hz, <  1500 VA
220/380 V, 50 Hz, <3500 VA




选功能和附件:

F2157nm型号可选
1000Kz型号可选
窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1



CL 7000
主要特点特点

陶瓷放电激光腔设计,长寿命
激光腔,电子系统一体化设计
功率稳定运行模式
预混合供气,使用简单
计算机控制



相关图片:



准分子激光激光沉积镀膜(PLD)系统示意图



准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图

   


CL7000系统机械尺寸图



应用 :


准分子激光脉冲沉积镀膜
准分子激光光栅光纤(FBG)刻写
准分子激光材料加工,微纳制造,光刻


关于俄罗斯OptoSystems公司:

     俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。

资料下载:

CL7000


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