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准分子激光器:CL 5000

准分子激光器: CL 5000


       准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。


CL 5000系列技术参数:


激光介质

ArF

KrF

XeCl

波长 (nm)

193

248

308

最大脉冲能量 (mJ)

20

40

25

最大重复频频率(Hz)

CL 5100
CL 5200
CL 5300

100
200
300

最大平均功率 (W)

CL 5100
CL 5200
CL 5300

2
4
5

4
8
10

2.5
5
7

脉冲能量稳定度(sigma, %)

 < 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

12 х 3.5

12 х 4

光束发散角(FWHM, mrad, VхH)

2 х 1

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

8 – 12

冷却方式

CL 5100

风冷

CL 5200/5300

水冷

重量 (kg)

80

尺寸 (LхWхH, mm)

780 х 330 х 583

电源

220 V, 50 Hz, <  1000 VA


       

可选功能和附件:


1000Kz型号可选

窄线宽型号可选,线宽0.03cm-1

F2,157nm型号可选



CL 5000系列主要特点:


陶瓷放电激光腔设计,长寿命

激光腔,电子系统一体化设计
功率稳定运行模式

预混合供气,使用简单

计算机控制


相关图片:



 激光腔,电子系统一体化设计,系统紧凑


 CL5000系统机械尺寸图


 CL5000准分子激光器光斑模式图,优秀的光学模式


 基于CL5000ArF准分子激光器视力屈光矫正系统,该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有多个系统在中国安装


 准分子激光器光纤光栅(FBG)刻写原理图。准分子激光器通常采用KrF(248)


应用:


准分子视力屈光矫正(LASIK)

准分子激光光栅光纤(FBG)刻写

准分子激光材料加工,微纳制造,光刻



关于俄罗斯OptoSystems公司:

        俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。


资料下载:

CL5000




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