热线电话:
400 888 1064
 
化学气相沉积镀膜系统 ARDIS 100

化学气相沉积镀膜系统 ARDIS 100


       微波等离子体化学气相沉积系统ARDIS-100适合于多晶、单晶和纳米晶金刚石薄膜制备,以及纳米管、纳米线制备,镀膜,研究和生产。俄罗斯Optosystems公司是世界上少数几个同类设备的制造商之一。


ARDIS-100系统技术参数:

MW 功率600-6000kWt, fr. 2.45GHz
供气通道数量4通道,允许气流调节范围0.3-60 l/hr
气体混合原始气体: H2/CH4, H2/CH4/O2, Ar/H2/CH4
参杂气体:N2,B 等等
气处理压力30-250 Torr
样品尺寸(通常值)100mm
基低温度到2500℃
生长率Up to 6μ/ 小时(多晶)
Up to 60μ/ 小时(单晶)
可视窗口5个石英窗口
真空腔水冷真空不锈钢腔
操作系统Windows兼容的CCDSys系统控制软件
尺寸1850 x 1100 x 1755(mm), 长x 宽 x 高

应用领域:

电子学 半导体,微电子器件热沉
声学电子器件,MEMS,传感器
MW场效益晶体管
光学 高功率红外窗口器件
腐蚀性环境光学窗口器件
拉曼激光器
MW 器件 超高功率振动陀螺和调速管窗片
非吸收辐射元件
工具 钻石和宝石镀膜


准分子激光器沉积镀膜系统---PLD
 准分子激光器:CL7020KrF
 应用:科研和工业镀膜
 详细PLD系统资料敬请来电!


关于俄罗斯OptoSystems公司:

      俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation  Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。


资料下载:

ARDIS 100





我要留言

姓名:    电话:    邮箱:   
地址:   
内容:   
   
相关推荐
脉动科技有限公司
地址:北京市海淀区中关村84-8号二层1-104单元;上海市茅台路868号光华大厦南楼1009室;西安市南二环西段太白立交西北未来城3号楼2404单元;深圳市南山区前海湾龙海家园15栋101室;成都市锦江区锦东路555号尖东旺座1314,
电话:010-62565117  传真:010-62565117-811
邮箱:info@pulsepower.cn