微波等离子体化学气相沉积系统：ARDIS 300
微波等离子体化学气相沉积系统：ARDIS 300适合于多晶，单晶和纳米晶金刚石薄膜制备，以及纳米管，纳米线制备，镀膜，研究和生产。
ARDIS 300技术参数：
MW功率 | 600-6000W, fr. 2.45GHz |
气通道数量 | 4通道，允许气流调节范围0.3.60 Vhr |
气处理压力 | 20-500 Torr |
气体混合 | 原始气体: H2/CH4或Ar/H2/CH4参杂气体: N2，O2, B等 |
探品尺寸(通常值) | 100mm |
基低温度 | 到1400°C |
生长率 | 6μm/小时(多晶)100μm/小时(单晶) |
可视窗口 | 5个石英窗口 |
真空腔 | 水冷真空不锈钢腔 |
操作系统 | Windows兼容的CCDSys系统控制软件 |
尺寸 | 1850x 1100x 1755(mm)，长x宽x高 |
ARDIS 300主要特点：
6 千瓦，2.45 GHz
可移动载物台 50 mm
小泄漏 < 10-9 torr·l/s
高真空 < 10-7 torr
纯度非常高
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应用：
电子学:半导体，微电子器件热沉;声学电子器件，MEMS,传感器;MW场效益晶体管
光学:高功率红外窗口器件;腐蚀性环境光学窗口器件;拉曼激光器
MW器件:超高功率振动陀螺和调速管窗片；非吸收辐射元件
工具：钻石和宝石镀膜
关于俄罗斯OptoSystems公司：
俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科，隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心（Physics Instrumentation Center，A.M.Prokhorov’s General Physics Institute）。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统（LASIK），该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器，YAG激光器等。
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