化学气相沉积镀膜系统 ARDIS 100
微波等离子体化学气相沉积系统ARDIS-100适合于多晶、单晶和纳米晶金刚石薄膜制备，以及纳米管、纳米线制备，镀膜，研究和生产。俄罗斯Optosystems公司是世界上少数几个同类设备的制造商之一。
ARDIS-100系统技术参数：
| MW 功率 | 600-6000kWt, fr. 2.45GHz |
| 供气通道数量 | 4通道，允许气流调节范围0.3-60 l/hr |
| 气体混合 | 原始气体： H2/CH4, H2/CH4/O2， Ar/H2/CH4 |
| 参杂气体：N2，B 等等 | |
| 气处理压力 | 30-250 Torr |
| 样品尺寸（通常值） | 100mm |
| 基低温度 | 到2500℃ |
| 生长率 | Up to 6μ/ 小时（多晶） Up to 60μ/ 小时（单晶） |
| 可视窗口 | 5个石英窗口 |
| 真空腔 | 水冷真空不锈钢腔 |
| 操作系统 | Windows兼容的CCDSys系统控制软件 |
| 尺寸 | 1850 x 1100 x 1755(mm), 长x 宽 x 高 |
应用领域：
| 电子学 | 半导体，微电子器件热沉 |
| 声学电子器件，MEMS，传感器 | |
| MW场效益晶体管 | |
| 光学 | 高功率红外窗口器件 |
| 腐蚀性环境光学窗口器件 | |
| 拉曼激光器 | |
| MW 器件 | 超高功率振动陀螺和调速管窗片 |
| 非吸收辐射元件 | |
| 工具 | 钻石和宝石镀膜 |
准分子激光器沉积镀膜系统---PLD
准分子激光器：CL7020KrF
应用：科研和工业镀膜
详细PLD系统资料敬请来电！
关于俄罗斯OptoSystems公司：
俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科，隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心（Physics Instrumentation Center，A.M.Prokhorov’s General Physics Institute）。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统（LASIK），该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证，并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器，YAG激光器等。
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