热线电话:
400 888 1064
 
准分子激光器:CLS 5000

准分子激光器:CLS 5000

      准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。



CLS 5000技术参数:

激光介质

ArF

KrF

XeCl

波长 (nm)

193

248

308

最大脉冲能量 (mJ)

15

25

12

最大重复频率 (Hz)

500

最大平均功率 (W)

7.5

12.5

  6

脉冲能量稳定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

12 х 3.5

12 х 4

12 х 4

光束发散角(FWHM, mrad, VхH)

2 х 1

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

10 – 12

冷却方式

水冷

重量 (kg)

85

尺寸 (LхWхH, mm)

890 х 340 х 460

电源

220 V, 50-60 Hz,  < 1000 VA



可选功能和附件:


可能配置1000和2000赫兹


CLS 5000主要特点:


非常高的光束指向稳定性

高重复频率

能量稳定性好

设计紧凑

内置能量控制

带磁转换发生器


应用:


布拉格光栅

无掩膜光刻

准分子材料加工

激光视力矫正



关于俄罗斯OptoSystems公司:

          俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。


我要留言

姓名:    电话:    邮箱:   
地址:   
内容:   
   
脉动科技有限公司
地址:北京市海淀区中关村333号楼二层201室;上海市静安区永兴路888弄1号楼;西安市碑林区南二环西段太白路立交西北未来城 3# 楼2404 室;四川省成都市成华区锦绣大道4599号荣盛香榭兰庭;深圳市南山区西丽桃源街道平山一路世外桃源创意园B栋503室,
电话:010-62565117  传真:010-62565117-803
邮箱:info@pulsepower.cn
备案号:京ICP备18020711号