准分子激光器:CL 7700
准分子激光器:CL 7700
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
CL 7700技术参数:
激光介质 | ArF | KrF |
波长 (nm) | 193 | 248 |
最大脉冲能量 (mJ) | 400 | 750 |
最大重复频率 (Hz) | ||
СL 7720 | 20 | |
CL 7750 | 50 | |
最大平均功率 (W) | ||
СL 7720 | 7 | 15 |
CL 7750 | 14 | 35 |
脉冲能量稳定度(sigma, %) | < 2 | |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 28 х 10 | |
光束发散角(FWHM, mrad, VхH) | 4.5 х 2 | |
脉冲持续时间 (FWHM, ns) | 20 | 30 |
冷却方式 | 水冷 | |
重量 (kg) | 190 | |
尺寸 (LхWхH, mm) | 1430 х 380 х 760 | |
电源 | 220/380 V, 50 Hz, < 3500 VA |
CL 7700主要特点:
高脉冲能量
闸流管开关
功率稳定运行模式
内置的能量检测器
预混料气体,使用简单
计算机控制
应用:
材料加工
激光剥离
脉冲激光沉积技术
关于OptoSystems公司:
OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
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