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准分子激光器:7X200

准分子激光器:7X200


      准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。



7X200技术参数:


波长 (nm)

248

最大脉冲能量 (mJ)

1000

最大重复频率(Hz)

200

最大平均功率 (W)

150

脉冲能量稳定度(sigma, %)

< 1.0

光斑尺寸 (VхH, mm)

36 x 17 (± 2)

光束发散角(FWHM, mrad, VхH)

< 3.5 x  1.10

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

30

冷却方式

水冷

重量 (kg)

750

尺寸 (LхWхH, mm)

2300 x 750 x 1200

电源

380/220 V, 50/60  Hz, 1200 VA



7X200主要特点:


高脉冲能量

高平均功率

高压固态开关

功率稳定运行模式

内置的能量检测器

内置能量无油真空泵与卤素过滤器

预混料气体,使用简单

计算机控制


应用:


脉冲激光沉积技术

准分子激光退火



关于俄罗斯OptoSystems公司:

    俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation  Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。



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