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准分子激光器:DC 4000

准分子激光器:DC 4000


      准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。


DC 4000系列技术参数:

激光介质

ArF

KrF

波长 (nm)

193

248

最大脉冲能量 (mJ)

20

40

最大重复频率 (Hz)

4000

最大平均功率 (W)

80

160

脉冲能量稳定度(sigma, %)

< 2

光斑尺寸 (VхH, mm)

14 х 2.5

光束发散角(FWHM, mrad, VхH)

3.5 х 1

脉冲持续时间 (FWHM, ns)

17 – 20

冷却方式

水冷

重量 (kg)

360

尺寸 (LхWхH, mm)

1890 x 810 x 1840

电源

220/380 V, 50 Hz,  < 7000 VA


DC 4000主要特点:

非常高的重复频率高达6千赫
高平均功率达160w
金属陶瓷设计
使用寿命长
能量稳定性好特性
HV固态开关
功率稳定
计算机控制


相关图片:

   


应用:

材料加工
激光剥离


关于OptoSystems公司:

      OptoSystems公司雇员超过40人,最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。

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