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多光束扫描系统:Multi-Beam Scanner

多光束扫描系统:Multi-Beam Scanner


      Pulsar Photonics多光束扫描系统,其机理是将单束激光分成多束子光束并导入扫描振镜,采用多光束并行加工的新型激光扫描系统。通过扫描器运动,每个光斑在工作平面可生成完全相同 任意形状的光斑图案。这种新的扫描理念能发挥激光全功率的相当一部分,从而提高加工效率,降低加工成本。


主要特点:

      可10-100倍提高微纳加工速度

      尤其适合用皮秒,飞秒激光器微纳加工

      适合用大量的,周期性微纳结构加工或表面微结构加工


技术参数:

使用波长353-1064nm
nxm矩阵图案典型值4x4方阵
光学效率
>70%
光斑均匀性误差
<7%
光斑图典型周期0.3-2nm


应用实例:

◆并行生产高精密复杂结构

◆高速激光钻孔

◆功能性表面处理              


关于德Pulsar Photonics公司:

     德国Pulsar Photonics公司是德国Fraunhofer 研究所 ,致力于新型超快激光加工系统和器件开发。




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