波长

Titan 将在 350 nm 至 525 nm 范围内在 ±0.2 nm 内的任何客户指定波长下运行

线宽

<200 kHz at 100 μs

相对强度噪声

<0.1 % rms

频率稳定性

未锁定到稳定参考时，固有频率稳定性 <1 GHz / °C； <100 MHz / °C 并带有标准波长计； 增强频率稳定性的选项

输出功率

>2 W at peak (400±10 nm)

型号

调谐范围

平均功率

SolsTiS 5000

350 nm - 380 nm

>0.8 W

SolsTiS 5000

381 nm - 420 nm

>1.5 W

SolsTiS 5000

421 nm - 460 nm

>1 W

SolsTiS 5000

461 nm - 500 nm

>0.4  W

SolsTiS XL

501 nm - 525 nm

>0.15W

SolsTiS 2000

350 nm - 380 nm

>0.4 W

SolsTiS 2000

381 nm - 420 nm

>0.7 W

SolsTiS 2000

421 nm - 460 nm

>0.5 W

SolsTiS 2000

461 nm - 500 nm

>0.2 W

功率精度

<±1 % 的输出功率超过输出功率范围

电源稳定性

<0.5 % rms 超过 24 小时，假设温度稳定性为 0.25 °C

光束质量 (M^2)

<1.2 TEM00

空间模式

1.0 ±0.1

光束圆度

<15%

散光

1.6 ±0.2 mm，水平和垂直，FW @ 1/e^2 点 SOLSTIS TITAN 数据表 光束发散角

束腰直径

<0.61 mrad 全角，FW @ 1/e^2 点

虚拟束腰位置

未标明

光束位置公差

<±1 mm，水平和垂直，从输出孔径中心测量

极化方向

垂直±3度

极化率

>100:1

光束指向温度公差

<30 μrad / °C

光束指向切换容差

在 LBO 点之间切换时 <25 μrad；在关闭和完全冷却后打开激光时 <50 μrad

掉电

24 小时内无信号丢失，定义为功率波动 <10 %，功率采样 @1 MHz； 假设没有大的机械扰动

运行环境要求

环境温度范围

18 - 25 °C

环境压力范围

960 - 1040 mbar； 系统将在此压力范围内运行 - 80 mbar 对应于不参考波长计时在 413 nm 处的 ~7 pm 漂移

最大相对湿度

80 %，在工作范围内无冷凝 空气：无尘优先

尺寸

激光器将安装在稳定的配置中，不会受到明显的机械干扰或振动

方面

1146 x 234 x 153 毫米（长 x 宽 x 高）

冷却方式

机架式闭环冷水机

快门

提供并能够远程操作（电气）

能量消耗

<1500 W

电气要求

120 V, 60 Hz single phase

全自动：

SolsTiS Titan 是一种全自动、免提系统，易于集成且占地面积小。它安装简单，可由非专业用户操作。

单频：

在蓝色和紫外线的关键波长（包括 413 nm 和 364 nm）上提供高达 2 W 的单频输出。

可优化光束参数：

特殊的光束参数可以针对不同的应用要求进行优化，包括半导体写入和检测以及量子应用。

出色的稳定性：

凭借有源功率控制选项，经过长时间验证的出色功率和波长稳定性。

高性能：

Titan 已在要求苛刻的工业应用的生产工具中进行了 24:7 的认证和操作，并在无需干预的情况下长时间提供一致的高性能。

简单集成：

Titan 可以完全集成到客户工具（光学、机械和控制）中，并且很容易更换为传统的气体离子激光器。

易于控制和监测：

远程控制监控可通过以太网或传统协议进行，其基于 Web 的用户界面包括基于云的实时跟踪选项。

低能耗，长期使用：

Titan 是低能耗 (<1500 W)，可大幅、持续地节省成本，使用寿命长达 10 年。