超低温阱Cyrotrap

        这些可靠的冷阱解决方案具有最高的分离速率和高达43000l/s的水蒸气泵速率。由于压缩机设计紧凑，专为粗糙的工业操作而设计，因此冷阱解决方案只需要最小的占地面积。高效节能的压缩机组通常只需要500瓦的电力。冷却温度低至120K[-153°C]，从而实现了理想的应用范围，低至UHV范围。低温使得在UHV范围以及粗真空范围内的应用成为可能。由于其易于安装，该系统还适合作为真空室的附加装置，以便快速降低水蒸气分压，从而实现更高的工艺吞吐量。

       此外，CT-100A系列适用于高度污染的真空工艺，如聚对二甲苯应用或CVD涂层工艺。易于安装和清洁的可能性使该系统成为标准真空泵（例如旋转叶片泵、涡轮泵）以及用于多种真空工艺的低温过滤器解决方案的理想扩展。通过使用这些低温泵，工艺生产率可以提高100%。对于半导体工业中的其他工艺，例如薄膜工艺设备，真空工艺泵也受到这些冷阱的可靠保护。

Cyrotrap特点：

温度低至120K[-153°C]时的高冷却能力。

适用于恶劣环境的压缩机设计，尤其适用于工业应用

非常适合从粗真空到UHV范围的CVD工艺

易于集成到OEM

高能效

紧凑、免维护的设计

占地面积小

Cyrotrap技术参数：