光束整形技术在柔性银基底材料的激光刻线中的应用
| 【摘要】众所周知，平顶激光光束对于激光加工是至关重要的，因此将一束相干的高斯光束整形为平顶光束的技术成为激光加工行业的重要课题。本文选用Ag/PET(银/聚对苯二甲酸乙二醇酯)薄膜材料，利用532nm的纳秒激光刻线系统刻蚀出一个U型截面，而用532nm的皮秒激光刻线系统刻蚀出一个V型截面。为了通过皮秒激光器获得一个相同的U型截面，本文利用了一个将高斯光束整形为平顶光束的光束整形系统（Focal-piShaper9_532），用激光来刻蚀样品，用显微镜来观察刻蚀样品的形貌。实验后，刻蚀样品的截面形貌通过激光扫描共聚焦显微镜记录下来。综上所述，通过光束整形器整形后的皮秒激光刻线系统可以很好得得到U型截面，而且减小了对材料基底的损伤。 |
| 【关键词】光束整形 平顶光束 皮秒激光器 Ag/PET(银/聚对苯二甲酸乙二醇酯)薄膜材料 |
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