脉动科技12月刊-Smart Print 智能2D无掩模光刻快速成形系统
New probes join the Indigo family
Indigo 家族系列增添了新的智能探头 ![](http://count.pulsepower.cn/template/ajax_get_network_attach/?id=446896&ufile_name=8eaff692-2bb2-11ea-95b8-005056967c31-14346.jpg&aid=1) | 新品推荐丨 Smart Print 智能2D无掩模光刻快速成形系统 |
| ![](http://count.pulsepower.cn/template/ajax_get_network_attach/?id=446896&ufile_name=95ef5434-2b94-11ea-95b8-005056967c31-24088.png&aid=1) | Maskless 2D Lithography System for rapid-Prototyping--微电子 --生物技术 --微纳光子学 --光电子学 --系统价格低,45000欧元起! Smart Print是一款基于µLCD投射技术的无掩模光刻技术。Smart Print适用于大多数的感光胶和基底,因此可以产生任何微米级分辨率的2D形状而无需实体的掩模版。 脉动科技是法国Microlight3D公司中国区唯一授权代理商。 |
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| 一、Smart Print关键特点: --打印分辨率低至2µm --通过更换物镜,可以调节打印大小尺寸和分辨率 --可以兼容CAD格式文件和bitmap图像 --可以通用g-line感光胶 --适合于大多数基底材料,硅,玻璃,金属,塑料 --适合于最大4‘’英寸的衬底盘片 --带CCD视觉系统以方便各个步骤调试
二、Smart Print系统优点: --无需实体掩模版因此节省大量的制造掩膜时间和费用 --桌面型系统,占地小 --特别适合微电子器件,2D材料,微流控,光电子器件,光学和任何2D微纳制造应用
三、Smart Print系统组成 光源 | 曝光435nm, 系统调试525nm | 最小打印特征尺寸 | 2-23µm 可调 | 调节分辨率 | 最小到1µm/cm3 | 最大曝光区域 | 75x75mm2 | 衬底尺寸 | 最大4‘’英寸基片 | 系统大小尺寸 | 36cm x 36cm x 60cm (长x宽x高) | 系统集成计算机 | Win 10系统,24’’Full HD | SFT打印软件功能 | 系统机器控制,步或重复运动,自动剂量测试,缝合,调试 | SFT控制器 | 转化标准格式(gdsii,dxf,cif,oas)到bitmap图像,包括CAD软件 |
四、Smart Print系统附件和选件 --多种样本夹具(玻璃slide, 4’’基片等) --手动或者电动的Z轴位移台 --手动360度转台 --物镜组合
五、不同物镜的打印面积和分辨率关系 物镜 | 1X | 2.5X | 5X | 10X | 打印面积(mm) | 13.6X7.7 | 5.4X3.0 | 2.7X1.5 | 1.35X0.75 | 最小分辨率(µm) | 23 | 8 | 4 | 2 | | 脉动科技有限公司 北京市海淀区中关村东路84-8号二层1-104单元 info@pulsepower.cn 北京 中国 100190
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