脉动科技12月刊-Smart Print 智能2D无掩模光刻快速成形系统
New probes join the Indigo family
Indigo 家族系列增添了新的智能探头  | | 新品推荐丨 Smart Print 智能2D无掩模光刻快速成形系统 |
|  | Maskless 2D Lithography System for rapid-Prototyping--微电子 --生物技术 --微纳光子学 --光电子学 --系统价格低，45000欧元起！ |
|
| 一、Smart Print关键特点：
--打印分辨率低至2µm
--通过更换物镜，可以调节打印大小尺寸和分辨率
--可以兼容CAD格式文件和bitmap图像
--可以通用g-line感光胶
--适合于大多数基底材料，硅，玻璃，金属，塑料
--适合于最大4‘’英寸的衬底盘片
--带CCD视觉系统以方便各个步骤调试
二、Smart Print系统优点：
--无需实体掩模版因此节省大量的制造掩膜时间和费用
--桌面型系统，占地小
--特别适合微电子器件，2D材料，微流控，光电子器件，光学和任何2D微纳制造应用
三、Smart Print系统组成 | 光源 | 曝光435nm, 系统调试525nm | | 最小打印特征尺寸 | 2-23µm 可调 | | 调节分辨率 | 最小到1µm/cm3 | | 最大曝光区域 | 75x75mm2 | | 衬底尺寸 | 最大4‘’英寸基片 | | 系统大小尺寸 | 36cm x 36cm x 60cm (长x宽x高) | | 系统集成计算机 | Win 10系统，24’’Full HD | | SFT打印软件功能 | 系统机器控制，步或重复运动，自动剂量测试，缝合，调试 | | SFT控制器 | 转化标准格式（gdsii,dxf,cif,oas）到bitmap图像，包括CAD软件 |
四、Smart Print系统附件和选件
--多种样本夹具（玻璃slide, 4’’基片等）
--手动或者电动的Z轴位移台
--手动360度转台
--物镜组合
五、不同物镜的打印面积和分辨率关系
| 物镜 | 1X | 2.5X | 5X | 10X | | 打印面积(mm) | 13.6X7.7 | 5.4X3.0 | 2.7X1.5 | 1.35X0.75 | | 最小分辨率（µm） | 23 | 8 | 4 | 2 |
|  脉动科技有限公司 北京市海淀区中关村东路84-8号二层1-104单元 info@pulsepower.cn 北京 中国 100190
|
|
