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德国OWIS发布V11系列超高真空(10^-11mbar)电动位移台

在真空领域,大多数供应商使用的是mbar作为计量单位,也有使用Pa的,那么我们先了解换算方法,才好统一计量比较,10bar=1MPa,那么10-5Pa换算过来就是10-7mbar。国内常见的真空定位系统,普遍响应的是10-6mbar。

您觉得10-6mbar不够?那就采用进口的,可以达到10-9mbar!然而,德国OWIS的EUHV系列,能适应于10-11mbar的压力,才是真正的超高真空!



德国OWIS公司的高真空预制技术成熟度已经非常高,达到了全线产品基本都可以升级成高真空版本,它们包括:

学导轨系统

光机组件

手动定位系统

电动定位系统

真空定位系统:由高真空位移台、屏蔽线缆、控制器、台式电源、连接线缆以及专用接头组成。


NO.1

高真空预制技术的先决条件







  • 只采用兼容真空的材料(如没有CuZn)

  • 选择兼容高真空的部件(如电机、主轴…)

  • 使用特殊的油脂润滑

  • 无冗余元件直插在平台上的接线接口方式

  • 不使用参考开关或限位开关

  • 所有部件都需要精细的清洁、安装和测量

  • 组装和测试全程在工厂高级别超净间完成


NO.2

高真空平台实现预制的方法





  • 铝零件没有进行过阳极氧化处理,而是镀镍电机,用于高真空的VSS电机

  • 高真空润滑脂,来润滑电机

  • 原器件上所有的盲孔都要打通

  • 电动真空位移台在装运发送之前在真空室中进行高度清洗和真空包装


因此,用户购买后可立即置入真空环境中,而不会破坏真空环境。

NO.3

应用领域






  • 空间技术材料表面分析

  • 生物医疗

  • 航空航天

  • 显微技术

  • 半导体制造

  • 大光源、中子源等复杂系统


NO.4

高真空系列的主要特征指标






所谓真空用平台系列,是指可以用于真空环境的,使用了不锈钢材料或者铝合金镀镍真空结构和真空用润滑油脂的,配备了真空污染较少的专用真空电机和机械式真空开关,以及选用了特氟隆绝缘电线的平台。除此之外,有的还采用了特殊的连接器、并且平台要求有较高的耐受温度范围;OWIS的高真空系列,具有以下特征和指标:

  • 长行程多轴可组合2-5轴,同时具备转台

  • 高载荷,低重复运动空程

  • 高定位精度


NO.5

德国Owis公司






德国Owis公司是1980年成立的德国公司,位于德国西南部安静的小镇Staufen,拥有雇员120人,专门生产高品质的光机产品并提供客户服务。公司拥有一流的研发部门和先进的制造设备,具有极高质量管理能力和产能,能在最短时间内根据用户的方案生产成复杂的精密机械装置。产品精度范围覆盖微米以及亚微米量级。OWIS的产品在量子光学,生物光学,精密微纳加工等高端的领域有非常多的客户!



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