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超低温制冷头和超低温制冷阱,轻松实现-103℃ ~ -198℃的超低温

2023-09-11


本期导读


相比常压液氮(-196℃/77.7K)和液氦(-268.9/4.215K)实现的低温,本超低温制冷器利用特殊的制冷剂内循环常温运行可实现-103~-198℃(170K~75K)的低温!本超低温制冷机无需更换制冷剂,用电即可。


奥地利CryoSpectra公司成立于2016年,致力于低振动超低温制冷设备的开发,为半导体、涂层、真空、研发行业提供广泛的高性能低温产品。CryoSpectra在功率密度(高达200W/cm2)和低振幅(低至亚纳米范围)方面的技术获得了多个专利,具有世界领先地位。本推送为大家介绍CryoSpectra生产的两款超低温制冷设备CryoCooler(冷却温度低至-198°C)和CryoTrap(冷却温度低至-153°C)。该制冷技术刚开始应用于强激光器钛宝石晶体制冷,后来应用扩展到半导体,材料学,低温物理学等领域!


一、超低温制冷器CryoCooler


CryoSpectra公司生产的超低温制冷器CryoCooler是一款设计紧凑的高功率循环冷却器其低温、高冷却性能主要应用于高功率激光器。独特的闭环冷却特征保证其免维护,并且可以在20分钟内达到最终冷却温度,低至-198°C。由制冷机主机、灵活的连接线和特殊的制冷头组成。制冷机主机有水冷式和风冷式两种。制冷头配有真空法兰(KF-50/CFF-40),都是标准的平面抛光和镀金,以确保在传热、反射和抗氧化方面达到最高质量标准,可直接与组装在高功率激光器里的晶体热源相连,保证激光器内无振动。CryoCooler风冷却和水冷却两种开机即可使用,无需安装调整和维护。体积也很小,主机可以放在平台下面。


 

 制冷机主机和制冷头                                 带真空法兰CFF40的标准制冷头



CryoCooler技术参数

型号

K170系列

K130系列

K100系列

K90系列

制冷温度

170-160K(-103~-113°C)

130-100K(-143~-173°C)

100-90K(-173~-183°C)

90-75K(-183~-198°C)

制冷功率

20-100W

75-1000W

75-500W

75-300W

制冷时间

20分钟内达到最终冷却温度

制冷头重量

0.45kg/0.65kg[KF-50/CFF-40]

噪音

47-49dB(A)@1m

52-65dB(A)@1m

58-64dB(A)@1m

58-63dB(A)@1m



CryoCooler优点

制冷头定向独立冷却性能,免维护;

20分钟内达到最终冷却温度,低至-198°C;

制冷头超低振动,低至亚纳米范围

制冷头紧凑型设计,重量<0.65kg

冷却能力高达数千瓦;

制冷机主机占地面积小;

直接在实验室安静运行。


CryoCooler典型应用

激光器晶体制冷

传感器技术

量子光学

红外探测器

光谱学


二、超低温肼CryoTrap


CryoSpectra公司生产的超低温肼CryoTrap具有最高的分离速率和高达43000l/s的水蒸气泵速率。设计紧凑,高效节能的压缩机通常只需要500W的电力。冷却温度低至-153°C可应用于粗真空到超高真空环境CryoTrap适用于高度污染的真空工艺,如聚对二甲苯应用或CVD涂层工艺。易于安装和清洁使该系统成为标准真空泵(例如旋转叶片泵、涡轮泵)以及多种真空工艺的低温过滤器解决方案。通过使用这些低温泵,工艺生产率可以提高100%。CryoTrap还应用于半导体工业中的其他工艺,例如薄膜工艺设备等。




CryoTrap技术参数:

型号

CT-100A-960

CT-100A-1200

CT-100A-2900

水蒸气泵流速

14,200l/s

17,800l/s

43,000l/s

制冷温度

低至-153°C

表面积

960cm2

1,200cm2

2,900cm2


CryoTrap特点

高冷却能力,冷却温度低至-153°C;

适用于恶劣环境,尤其适用于工业应用;

非常适合从粗真空到UHV范围的CVD工艺;

易于集成到OEM

高能效

紧凑、免维护设计



CryoTrap典型应用

半导体工业

真空技术

CVD涂层

传感器技术


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