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深紫外激光利剑——准分子激光器

2024-05-13

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准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅（FBG）刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。脉动科技已陆续在国内安装了超过30套准分子系统，凭借优异的产品质量和稳定的售后服务赢得了广大用户认可。

分子激光器关键技术指标：

（1）工业高重频型号：DC4000系列

★ 6000 Hz 重复频率
★ 193 /248 nm波长，248 nm能量可达 40 mJ
★ 适用于：无掩膜光刻、激光剥离、微加工应用

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（2）长脉宽型号：CL7308

★ 脉宽> 180 ns

★ 308 nm波长，最高脉冲能量280 mJ

★ 适用于冠状动脉消融
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（3）高重频型号：CLS5000系列
★ 1100 Hz重复频率
★ 193/248/308 nm波长
★ 适用于：布拉格光栅，无掩膜光刻，准分子材料加工，激光视力矫正
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（4）窄线宽型号：CL7000系列
★ 窄线宽型号可选，线宽0.03cm-1
★ 193/248/308 nm波长
★ 适用于：脉冲沉积镀膜，光栅光纤（FBG）刻写，准材料加工，微纳制造，光刻

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（5）工业高能型号：CL 7X200系列
★ 248 nm波长，能量高达 1000 mJ
★ 200 Hz 最高重复频率
★ 适用于：半导体激光退火、PLD

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准分子激光器特点：
★ 高能量：可达1000 mJ@248 nm，400 mJ@193 nm
★ 高重复频率：20-6000 Hz
★ 功率稳定：可达σ<2%
★ 内置能量探测头：读数直观准确
★ 预混合供气，使用简单
★ 全自动计算机控制

★ 国内安装，独立售后

准分子激光器应用：

脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅（FBG）刻写，LASIK，光刻，微纳加工，激光剥离，激光诱导荧光技术，准分子激光退火






















脉动科技有限公司成立于2006年，是专业的激光器代理公司，致力于国外先进激光器，光电子产品的代理、销售、技术服务和进口业务，服务于国内外高端科研和先进工业市场。现已成为国内最大的激光器代理商之一。















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